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常见问题
自喷清洗机的贮液箱,在槽中没有水或时,必须拆换,小心电源箱,恰当实际操作及维修保养。1、自喷清洗机开启时,全自动单工位旋转喷淋清洗机生产厂家,标示灯没亮,水泵沒有起动。缘故:A.电源总开关毁坏,沒有开关电源键入。B.保险丝ACFU熔断。C.自喷清洗机水位线不够,全自动维护造成水泵起动不上。2、初洗槽,开启加温半小时上下,手动单工位旋转喷淋清洗机生产厂家,温度都还没上去。缘故:A.发烫管道掉下来。B.保险丝熔断。C.加热管烧毁,必须拆换后。
旋转喷淋清洗是浸入型清洗的变型。系统中一般包括自动配液系统、清洗腔体、废液回收系统。
喷淋清洗在一个密封的工作腔内一次完成化学清洗、去离子水冲洗、旋转甩干等过程,减少了在每一步清洗过程中由于人为操作因素造成的影响。在喷淋清洗中由于旋转和喷淋的效果,手动单工位旋转喷淋清洗机生产厂家,使得硅片表面的溶液更加均匀,同时,接触到硅片表面的溶液永远是新鲜的,这样就可以做到通过工艺时间设置,控制硅片的清洗腐蚀效果,实现很好的一致性。密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发,铁岭单工位旋转喷淋清洗机生产厂家,减少溶液的损耗以及溶液蒸气对人体和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学试剂,在使用时到达喷口之前才混合,使其保持鲜,以发挥潜力,这样在清洗时会反应快。用N2喷时使液体通过很小的喷口,使其形成很细的雾状,至硅片表面达到更好的清洗目的。
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